(关键词：硅片刻蚀机，刻蚀清洗机，太阳能硅片清洗机)
主要用途
主要用于太阳能电池生产线上硅片扩散后去磷硅玻璃的清洗处理。是一条集清洗、腐 蚀、吹干为一体的全自动综合清洗工艺线。
适用于单晶和多晶。
技术特点
1、采用先进的PID温控系统；
2、全程由西门子PLC控制，人机界面操作，确保设备操作高度自动化；
3、采用最新框架结构设计，全面完善防腐蚀措施，完全杜绝漏液腐蚀问题；
4、提供最新的全自动药液添加系统；
5、采用进口PP、PVDF板材，阀门，管件；
6、可以根据客户工艺要求定制。
主要技术指标
1、标准外形尺寸：10500*2000*2200（长×宽×高）；
2、处理量：2100片/小时超大产能（125×125，156×56兼容）；
3、处理硅片厚度：大于150 微米；

采用独特的水刀设计，确保喷洒均匀

采用独特的风刀设计，确保硅片表面干燥